OTSUKA廣州代理OTSUKA 反射光譜測厚儀 FE-3000 大塚電子
OTSUKA大塚電子廣州代理，OTSUKA廣州代理，.，OTSUKA大塚電子廣州代理 FE-3000反射光譜測厚儀日本OTSUKA大塚電子FE-3000反射光譜測厚儀日本OTSUKA大塚電子FE-3000反射光譜測厚儀日本OTSUKA大塚電子FE-3000反射光譜測厚儀日本OTSUKA大塚電子FE-3000反射光譜測厚儀日本OTSUKA大塚電子FE-3000反射光譜測厚儀日
- 型號：
紫外から近赤外域の反射光により、多層膜の膜厚測定?光學定數解析が可能な光干渉式膜厚計です。 分光法の採用により、非接觸?非破壊かつ高精度で再現性の高い膜厚測定ができます。 広い波長域に対応（190nm～1600nm）しています。 薄膜から厚膜まで幅広い測定範囲に対応しています。（1nm～1mm) 微小スポット（最小φ3µm）の測定により、パターンやムラのあるサンプルに対応しています。
測定項目
絶対反射率測定 膜厚解析 光學定數解析（n：屈折率、k：消衰計數）
用途
機能性フィルム、プラスチック
透明導電膜（ITO、銀ナノワイヤー）、位相差フィルム、偏光フィルム、ARフィルム、PET、PEN、TAC、PP、PC、PE、PVA、接著剤、粘著剤、プロテクトフィルム、ハードコート、耐指紋剤など 半導體、化合物半導體
Si、酸化膜、窒化膜、Resist、SiC、GaAs、GaN、InP、InGaAs、リードフレーム、SOI、Sapphire、など 表面処理
DLCコート、防錆剤、防曇剤、など 光學材料
レンズ、フィルタ、ARコート、など FPD
LCD（CF、ITO、LC、PI、PS）、OLED（有機膜、封止剤）、など その他
HDD、磁気テープ、建材、など 測定原理
大塚電子では、光干渉法と自社製高精度分光光度計により、非接觸?非破壊かつ高速高精度な膜厚測定を可能にしています。光干渉法は、図2のような分光光度計を利用した光學系によって得られた反射率を用いて光學的膜厚を求める方法です。図1のように金屬基板上にコーティングされた膜を例にとると、対象サンプル上方から入射した光は膜の表面で反射します（R1）。さらに膜を透過した光が基板（金屬）や膜界面で反射します（R2）。このときの光路差による位相のずれによって起こる光干渉現象を測定し、得られた反射スペクトルと屈折率から膜厚を演算する方法を光干渉法と呼びます。解析手法は、ピークバレイ法、周波數解析法、非線形最小二乗法、最適化法の4種類があります。
SiO 2 SiNの膜厚測定 [FE-0002]
半導體トランジスタは電流の通電狀態を制御することで信號を伝達していますが、電流が漏れたり別のトランジスタの電流が勝手な通路を通り回り込むことを防止するために、トランジスタ間を絶縁するための絶縁膜が埋め込まれています。絶縁膜にはSiO2（二酸化シリコン）やSiN（窒化シリコン）が用いられます。SiO2は絶縁膜として、SiNはSiO2より誘電率の高い絶縁膜として、または不必要なSiO2をCMPで除去する際のストッパーとして使用され、その後にSiNも除去されます。このように絶縁膜としての性能、正確なプロセス管理のため、これらの膜厚を測定する必要があります。
.
.
.
.
.
網址：www.ziju.cc 或www.fujino.net.cn
本司代理優勢品牌：(歡迎來電詢價)
SOLAX/SERIC索納克斯，FUNATECH船越龍，DSK電通產業，HIKARIYA光屋，ORIHARA折原
IIJIMA飯島電子，EXCEL聽音機 ，NDK日本電色，ORC歐阿希，HOYA豪雅，TSUBOSAKA壺板，TOPCON拓普康，ONOSOKKI小野，AND艾安德，TANDD天特，TOKISANSYO東機產業，KYOWA共和，TEITSU帝通電子，MCRL村上，KONICA MINOLTA柯尼卡美能達，IMV艾目微，EMIC愛美克，KANETEC強力，HODAKA穗高，SOTEC索泰科，CITIZEN西鐵城，OJIDEN大阪
，TECH-MO盛岡，SANEI三榮電機 ，OKANO岡野，SUGAWARA菅原，MITUTOYO三豐，RIKEN理研，KETT凱特
科學儀器：
SANSYO三商，TGK東京硝子，TOYOLING東洋，SIBATA柴田科學，LUCEO魯機歐，TGK東京硝子，HEIDON新東，KOKUSAN科庫森，NITTOKAGAKU日陶科學，ITOH伊藤，NIKKATO 日陶，KIRIYAMA桐山，KUSANO草野科學，NISSINRIKA日伸理化，NS恩艾斯
傳感器
KYOWA共和，METROL美德龍，OMRON歐姆龍，FUJI富士，OPTEX光電，KEYENCE基恩士
TAKEX竹中，SUGIDEN/SUGIYAMA杉山電機，GS吉艾斯，TAKASAGO高砂，MATSUNAGA松永，HISHIKO菱小，AIRTECH空氣科技，YAMABISHI山菱
OTSUKA大塚電子廣州代理，OTSUKA廣州代理，.，OTSUKA大塚電子廣州代理
藤野貿易（廣州）有限公司-主營FA自動化、膠粘材料、油脂材料、機械設備、精密儀器、物流搬運，工具等產品
藤野貿易（廣州）有限公司-主營FA自動化、膠粘材料、油脂材料、機械設備、精密儀器、物流搬運，工具等產品
藤野貿易（廣州）有限公司-主營FA自動化、膠粘材料、油脂材料、機械設備、精密儀器、物流搬運，工具等產品